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微電子行業(yè)使用防靜電皮的靜電電壓衰減時(shí)間是多少

[點(diǎn)擊量:1940][來源:創(chuàng)選寶防靜電專家(www.to3o8kobj.cn)]

2021-09-30

       在微電子行業(yè)生產(chǎn)環(huán)境中的靜電產(chǎn)生有多種形式,但在摩擦分離、靜電感應(yīng)、壓電效應(yīng)等過程中,電荷轉(zhuǎn)移、靜電電位升高會(huì)在瞬間完成,帶電體的電容量很小,而靜電的衰減卻很慢,這主要原因在于靜電泄露電阻較大。靜電防護(hù)要解決的主要矛盾就是靜電積累,所有在這種情況下,管控靜電衰減時(shí)間是非常必要的。

 

       根據(jù)IEC61340-5-1的規(guī)定,靜電電壓衰減期為初始電壓±1000伏,衰減到10%,即±100伏的衰減時(shí)間不大于2秒,目前國(guó)際、國(guó)內(nèi)微電子行業(yè)基本遵循這個(gè)規(guī)定。

 

       創(chuàng)選寶生產(chǎn)的防靜電皮原材料采用進(jìn)口丁腈橡膠,每年都針對(duì)防靜電膠皮的系統(tǒng)電阻、表面電阻、摩擦起電電壓及靜電衰減期做檢測(cè)判定,其中靜電衰減期測(cè)試結(jié)果為0.1秒,符合IEC61340-5-1中衰減時(shí)間不大于2秒的規(guī)定。因此,創(chuàng)選寶防靜電橡膠皮應(yīng)用在微電子行業(yè)是非常安全的。

 

 

圖:創(chuàng)選寶防靜電膠皮靜電衰減期檢測(cè)數(shù)據(jù)

 

 

 

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